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Hallo zusammen,

ich bin eigentlich Maschinenbauer und bin jetzt im Bereich Mikrofluidik gelandet. Da ich die Vorzüge von parametrischen 3d System zu  schätzen weiß möchte auch hier nicht darauf verzichten. Zudem lassen sich auf diesem Wege auch Tools wie Comsol mit der Geometrie füttern.

Nun zu den eigentlichen Problemen: Ich erstelle Masken welche für Photolitographie verwendet werden sollen. Die Masken sind nur einfache, ausgedruckte "Schablonen" (Schwarzer Toner auf transparenter Folie) mit denen Photolack gezielt belichtet werden kann. Das Drucken wird von einer externen Firma erledigt welche nur Postscript Dateien akzeptiert.
Wenn ich nun also die abgeleitete Zeichnung in eine Datei drucke ergeben sich zwei Probleme die ich anhand eines einfachen Quadrates erklären möchte.

1. Es werden nur die Körperkanten gedruckt und diese haben logischerweise auch eine Breite (Was ja für eine "normale" Zeichnung vollkommen in Ordnung ist). Schattiertes Modell ergibt eine Pixelgrafik.

2. Das innere des Quadrats ist leer, ich brauche es aber gefüllt. Bin schon auf die Idee gekommen einen Schnitt zu verwenden, aber das funktioniert auch nicht so wie ich es brauche.

Zusammengefasst heißt das für einen quadratischen Extrude mit 5x5cm Grundfläche, dass er im Postscript exakt 5x5cm und ausgefüllt sein muss. Die Körperkanten dürfen nicht vorhanden sein bzw. keine Breite haben. Wir arbeiten hier mit Strukturbreiten bis ca. 10µm und da ist jede Linie zu dick.

Ich hoffe ich konnte mein Problem halbwegs verständlich rüber bringen.

Grüsse aus Frankreich,

rolvovolvo

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Für die Erstellung der Postscript-Datei wird ebenfalls eine pnt-Datei genutzt. In dieser sind die Strichstärken angegeben. Hier kannst du evtl. mal sehen, ob die extrem kleinen Werte genommen werden.

Beim Ausfüllen der Schablonen würde ich auch einen Querschnitt nutzen. Hast du es bei der Schraffur mal mit "Füllen" versucht?

Tante Edit sagt: Herzlich Willkommen im WBF 

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Gruß
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Auch von mir ein herzlich Willkommen hier im Forum.

Ich muss doch einige Zweifel anmelden, was Dein Vorhaben angeht. Wenn Du ein Quadrat von 5x5cm in einem CAD-Programm darstellen willst, dann haben die 3D-Daten natürlich genau diesen Wert. Aber die abgeleitete Zeichnung, die Du ja für Deine Belichtung brauchst, hat eben Linien, deren genaue Mitte die Körperkanten darstellen. Man müsste die Linien schon auf den Wert 0 einstellen, damit das Quadrat nachher die absolut genaue Kantenlänge von 5 cm aufweist. Das ist IMHO in ProE nicht möglich.

Für solche Anwendungen gibt es andere Programme, die genau diese Funktionalitäten bereitstellen. Inwiefern diese dann allerdings noch die Parametric berücksichtigen, kann ich nicht sagen. In der Druckbranche werden diese Satz- und Layoutprogramme verwendet (Nicht zu verwechseln mit dem Layout aus der ProE-Welt). Dort kann ich dann wählen, ob ich nur die Füllung eines Quadrats oder den Umriss oder beides (wenn verschiedenfarbig) gedruckt werden soll. Dann kann man noch wählen, ob die Füllung den Umriss überdrucken soll oder nicht. Die Umrisslinien kann man vorher genau auf eine bestimmte Strichstärke einstellen. Auch hier liegt die Umrisslinienmitte genau auf der Füllungskante, die genau 5x5 cm hat (wie in Deinem Beispiel). Als preisgünstiges Beispiel sei hier mal CorelDRAW aufgeführt, teurer wird es z.B. schon beim Adobe Illustrator. Diese Programme beherrschen übrigens auch Postscript.

Wie es allerdings im CAD-Bereich mit Platinenlayoutern (Elektronik) aussieht, liegt außerhalb meiner Erfahrung. Hier kommt es ja auch auf genaue Breiten der Leiterbahnen an.

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Grüße aus OWL, Thomas
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Zitat:

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Original erstellt von rolvovolvo:

Zusammengefasst heißt das für einen quadratischen Extrude mit 5x5cm Grundfläche, dass er im Postscript exakt 5x5cm ...

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Eventuell kannst du ja in der pentable deine Strichstärke auf 0,5 mm einstellen und dann auf 49,5x49,5 mm² modellieren? Wird natürlich etwas kompliziert. Innenmaße müssten vergrößert werden.
Oder vielleicht noch besser. Du arbeitest mit Toleranzen. In deinem Fall mit 50 -0,5 und setzt Außenmaße auf Untergrenze und Innenmaße (dann mit +Toleranz) auf Obergrenze. Natürlich easy bei einem Quader. Bei komplexen Strukturen wird das sicher extrem unübersichtlich.

OT: Mit diesem Verfahren schafft man wirklich 10 µm Auflösung?

Ford P.

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Es gibt eine Theorie, die besagt, wenn jemals irgendwer genau rausfindet, wozu Pro/E da ist und warum es da ist, dann verschwindet es auf der Stelle und wird durch etwas noch Bizarreres und Unbegreiflicheres ersetzt.
Es gibt eine andere Theorie, nach der das schon passiert ist.

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Hallo zusammen,

erstmal vielen Dank für die Lösungsvorschläge.

Die Idee mit dem Schnitt zum füllen der Flächen funktioniert. Ich war wohl zu blind um die Option füllen zu entdecken. Im Endeffekt krankt es an der Postscriptausgabe von Pro E. Hab die Linienstärken verringert und dann war die Ausgabe einfach nur leer. Das Drucken ist halt auf Plotter ausgelegt.

Eine Lösung für mein Problem habe ich aber trotzdem gefunden: Da ich ja unter Linux arbeite, habe ich einfach mal die Paketverwaltung nach CAD befragt und QCAD gefunden, welches nun als "Drucker" verwendet wird. Mein "Bauteil" wird schön parametrisch in Pro E modelliert und eine Zeichnung daraus abgeleitet. Diese wird dann als DXF gespeichert und mit QCAD geöffnet. Hier kann ich die Linienstärke auf 0 setzen, die Flächen ausfüllen und dann als Postscript drucken. Eine praktikable Lösung und auch noch kostenlos.

   

Zitat:

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Eventuell kannst du ja in der pentable deine Strichstärke auf 0,5 mm einstellen und dann auf 49,5x49,5 mm² modellieren?

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Gute Idee, allerdings wird ja die Geometrie für numerische Simulationen benutzt.

   

Zitat:

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Mit diesem Verfahren schafft man wirklich 10 µm Auflösung?

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Ich hab mich auch schon des öfteren gefragt was die da für Drucker stehen haben. Wenn man allerdings bedenkt mit welchen Strukturbreiten in der Halbleitertechnik gearbeitet wird, sind 10 µm schon verdammt groß. Die 10 µm sind die kleinste Strukturbreite die wir für das Maskendesign verwenden. In der Praxis haben wir natürlich immer Abweichungen die aus dem Drucken der Masken, der Belichtung und dem Entwickeln des Photoresists resultieren.
Auf dem Gebiet auf dem ich mich bewege, gibt es eine Reihe sehr interessanter Methoden um solche Strukturen zu erzeugen. Für den interessierten Leser ein Link zu einer sehr besonderen Methode:  http://www.dusseiller.ch/mms_wiki/images/7/77/Grimes_diy_microfluidics_2007.pdf]

Grüsse aus Frankreich,

rolvovolvo

[Diese Nachricht wurde von rolvovolvo am 28. Jan. 2010 editiert.]

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