!cyl4 statt pcirc finish /clear !----Konstanten----- tiefe=0.45e-3*1e3 !Waferdicke breite=0.08e-3*1e3 !Breite eines Absorbers fuge=0.02e-3*1e3 !Breite der Fuge gap=0.005e-3*1e3 !Lücke zwischen Elektrode & Fuge top_elek_h=0.43e-6*1e3 !Höhe der Topelektrode bot_elek_h=0.35e-6*1e3 !Höhe der Bottomelektrode dick_elek=2e-6*1e3 !Dicke Elektrode eind_elek=0.2e-6*1e3 !Eindringtiefe der Elektrode pot=500 !angelegtes Potenzial /prep7 et,1,plane121 !2D 8-node electrostatic solid mp,perx,1,12.9 !Permittivität für GaAs mp,perx,2,11.7 !Permittivität für Si mp,perx,3,1 !Permittivität für Luft !----Geometrie----- !rectng,x1,x2,y1,y2 rectng,0,breite/2-gap+fuge/2-gap+2*gap,0,tiefe !gesamt rectng,breite/2-fuge/2-gap,breite/2-gap,0,tiefe !vertikales Rechteck: links von gap mit Breite von fuge/2 rectng,breite/2-fuge/2+gap,breite/2,0,tiefe !vertikales Rechteck: rechts von gap mit Breite von fuge/2 rectng,0,breite/2+fuge/2,0,tiefe-fuge/2 !horizontales Rechteck: unterhalb des oberen GaAs-Endes mit Höhe von fuge/2 rectng,0,breite/2+fuge/2,tiefe-eind_elek,tiefe+dick_elek-eind_elek !horizontales Rechteck: oberhalb des oberen GaAs-Endes um eind_elek nach unten versetzt mit Höhe von dick_elek rectng,0,breite/2-gap,tiefe-eind_elek,tiefe+dick_elek-eind_elek !horizontales Rechteck: oberhalb des oberen GaAs-Endes um eind_elek nach unten versetzt mit Höhe von dick_elek (linke Elektrode) rectng,0,breite/2,tiefe-eind_elek,tiefe+dick_elek-eind_elek !horizontales Rechteck: oberhalb des oberen GaAs-Endes um eind_elek nach unten versetzt mit Höhe von dick_elek (fuge) !/eof !local,11,0,breite/2-gap,tiefe-eind_elek+dick_elek !Def. eines neuen Koord.-sys.: local,number,karthesisch,x,y !wpcsys,,11 !Aktivierung Koord.-sys. #11 !pcirc,,dick_elek,-90,0 !Def. eines Kreises um Koord.-ursprung: innerer_Radius,äußerer_Radius,Theta1,Theta2 !local,12,0,breite/2,tiefe-eind_elek+dick_elek !Def. eines neuen Koord.-sys.: local,number,karthesisch,x,y !wpcsys,,12 !Aktivierung Koord.-sys. #12 !pcirc,,dick_elek,-180,-90 !Def. eines Kreises um Koord.-ursprung: innerer_Radius,äußerer_Radius,Theta1,Theta2 !wpcsys,,0 !Aktivierung Koord.-sys. #0 (Standard) !csys,0 !Verwendung karth. Koord.-sys. cyl4,breite/2-gap,tiefe-eind_elek+dick_elek,dick_elek,-90,,0 cyl4,breite/2,tiefe-eind_elek+dick_elek,dick_elek,-180,,-90 btol,0.1e-12 !Toleranz aovlap,all !Flächen überlappen !/pnum,area,1 !Flächen nummerieren !/eof !Elektrodenflächen: !Elektrode: A11,13,18,20,28 !Fuge: A10,16,17,21 adele,10 !Fläche löschen: 10 adele,11,13,2 !Flächen löschen: 11-13 mit INC=2 adele,16,17 !Flächen löschen: 16-17 adele,18,20,2 adele,21 adele,28 !/pnum,area,1 !/eof aadd,24,25 !Fläche A1 entsteht wpcsys,,0 !defines working plane location wpoffs,3.75e-2 !offsets working plane wprota,,,90 !rotates working plane: um y-Achse asbw,all !divides areas !/pnum,line,1 !/eof !----Vernetzung----- lesize,12,,,5 !rechter Teil der oberen horizontalen Linie der Luft lesize,13,,,5 !linker Teil der oberen horizontalen Linie der Luft lesize,9,,,10 !rechter Teil der unteren horizontalen Linie der Luft lesize,10,,,10 !linker Teil der unteren horizontalen Linie der Luft !Linien der Elektrode: L61,45,40,66 lesize,66,,,20 lesize,45,,,10,10 !Linien der Elektrode: L55,37,68 lesize,68,,,20 lesize,55,,,10,1/10 lesize,11,,,10,1/10 !Steuerung der Vernetzung in Luft lesize,70,,,10,10 !Steuerung der Vernetzung im GaAs lesize,76,,,10,10 !Steuerung der Vernetzung im GaAs lesize,8,,,10,1/10 !Steuerung der Vernetzung im GaAs !---Luft--- mat,3 esize,4e-4 aclear,all !löscht Knoten & Elemente, die in Verbindung mit Fläche stehen smrt,off !smartsize deaktiviert amesh,6,7 !/eof !---GaAs--- asel,s,loc,y,0.44,1 !selektiert Flächen mit y=0.44...1 asel,u,,,6,7 !selektierte Flächen abzüglich A6,A7 mat,1 esize,3e-3 amesh,all !alle Flächen vernetzen asel,invert amesh,all !----Elektroden--------------- !ohmscher Kontakt: Bottomelektrode nsel,s,loc,y,0 !wählt alle Knoten bei y=0 aus d,all,volt,0 !setzt diese Knoten auf "0 V" !Schottkykontakte: Topelektroden lsel,s,,,40 !wählt Line 40 aus lsel,a,,,45 !wählt zusätzlich Linie 45 aus lsel,a,,,61,66,5 !wählt zusätzlich Linen 61 und 66 aus nsll,s,1 !wählt alle zu Linen 40,45,61,66 gehörigen Knoten aus d,all,volt,pot !setzt diese Knoten auf "pot V" allsel !alle Selektierungen rückgängig !--------Lösung------ /solu solve !------Auswertung------ /post1 plns,ef,sum !elektrische Feldstärke !plns,d,sum !elektrische Verschiebungsflussdichte !/cont,,9,pot*0.95,,pot!*0.99 !plns,volt ! !----------------------------------- ! !----------------------------------- ! !----------------------------------- ! !----------------------------------- ! ! ! ! mshape,0,2d ! 0=quads 1=tria ! mshkey,1 ! 0 use free meshing, 1 use mapped meshing ! ESIZE,ms_tobj ! skind/2 ! SMRTSIZE,4 ! 1