finish /clear !----Konstanten----- tiefe=0.45e-3 !Waferdicke breite=0.08e-3 !Breite eines Absorbers fuge=0.02e-3 !Breite der Fuge gap=0.005e-3 !Lücke zwischen Elektrode & Fuge top_elek_h=0.43e-6 !Höhe der Topelektrode bot_elek_h=0.35e-6 !Höhe der Bottomelektrode dick_elek=2e-6 !Dicke Elektrode eind_elek=0.2e-6 !Eindringtiefe der Elektrode pot=500 !angelegtes Potenzial /prep7 et,1,plane121 !2D 8-node electrostatic solid mp,perx,1,12.9 !Permittivität für GaAs mp,perx,2,11.7 !Permittivität für Fuge mp,perx,3,1 !Permittivität für Luft !----Geometrie----- !rectng,x1,x2,y1,y2 rectng,0,breite/2-gap+fuge/2-gap+2*gap,0,tiefe !gesamt rectng,breite/2-fuge/2-gap,breite/2-gap,0,tiefe !vertikales Rechteck: links von gap mit Breite von fuge/2 rectng,breite/2-fuge/2+gap,breite/2,0,tiefe !vertikales Rechteck: rechts von gap mit Breite von fuge/2 rectng,0,breite/2+fuge/2,0,tiefe-fuge/2 !horizontales Rechteck: unterhalb des oberen GaAs-Endes mit Höhe von fuge/2 rectng,0,breite/2+fuge/2,tiefe-eind_elek,tiefe+dick_elek-eind_elek !horizontales Rechteck: oberhalb des oberen GaAs-Endes um eind_elek nach unten versetzt mit Höhe von dick_elek rectng,0,breite/2-gap,tiefe-eind_elek,tiefe+dick_elek-eind_elek !horizontales Rechteck: oberhalb des oberen GaAs-Endes um eind_elek nach unten versetzt mit Höhe von dick_elek (linke Elektrode) rectng,0,breite/2,tiefe-eind_elek,tiefe+dick_elek-eind_elek !horizontales Rechteck: oberhalb des oberen GaAs-Endes um eind_elek nach unten versetzt mit Höhe von dick_elek (fuge) local,11,0,breite/2-gap,tiefe-eind_elek+dick_elek !Def. eines neuen Koord.-sys.: local,number,karthesisch,x,y wpcsys,,11 !Aktivierung Koord.-sys. #11 pcirc,,dick_elek,-90,0 !Def. eines Kreises um Koord.-ursprung: innerer_Radius,äußerer_Radius,Theta1,Theta2 local,12,0,breite/2,tiefe-eind_elek+dick_elek !Def. eines neuen Koord.-sys.: local,number,karthesisch,x,y wpcsys,,12 !Aktivierung Koord.-sys. #12 pcirc,,dick_elek,-180,-90 !Def. eines Kreises um Koord.-ursprung: innerer_Radius,äußerer_Radius,Theta1,Theta2 wpcsys,,0 !Aktivierung Koord.-sys. #0 (Standard) csys,0 !Verwendung karth. Koord.-sys. btol,0.1e-6 !Toleranz aovlap,all !Flächen überlappen /pnum,area,1 !Flächen nummerieren /eof !Elektrodenflächen: !Elektrode: A11,13,18,20,28 !Fuge: A16,17,21,22 adele,11,13,2 !Flächen löschen: 11-13 mit INC=2 adele,16,17 !Flächen löschen: 16-17 adele,18,20,2 adele,21,22 adele,28 !Fläche löschen: 28 !aadd,25,26 !Luftfläche: A13 !Fugenflächen: A15,26 !Gapflächen: A19,29 !Absorberflächen: A12,14,24,27 !/pnum,area,1 !/eof !----Vernetzung----- !/pnum,line,1 !Linien nummerieren !/eof !Linien der Elektrode: L61,44,39,66 lesize,39,0.1e-6 lesize,66,,,10,1/6 lesize,44,,,20,12 !Linien der Elektrode: L55,70,69 lesize,70,0.1e-6 lesize,69,,,10,1/6 lesize,55,,,20,12 !------Fuge------ mat,2 esize,0.5e-6 amesh,29 !-------Luft---- mat,3 amesh,25 !-----Absorber---------- mat,1 amesh,27 esize,2e-6 amesh,23,24 amesh,12,14,2 amesh,15 !----Fuge---- mat,2 amesh,19 /eof !----Elektroden--------------- !ohmscher Kontakt: Bottomelektrode nsel,s,loc,y,0 !wählt alle Knoten bei y=0 aus d,all,volt,0 !setzt diese Knoten auf "0 V" !Schottkykontakte: Topelektroden lsel,s,,,1,2 !wählt Line34 aus lsel,a,,,31 lsel,a,,,43,46,3 !wählt zusätzlich Line7 aus nsll,s,1 !wählt alle zu Line34+7 gehörigen Knoten aus d,all,volt,pot !setzt diese Knoten auf "pot V" allsel !alle Selektierungen rückgängig !--------Lösung------ /solu solve !------Auswertung------ /post1 !/cont,,9,pot*0.95,,pot!*0.99 !plns,volt plns,ef,sum !elektrische Feldstärke !plns,d,sum !elektrische Verschiebungsflussdichte