finish /clear *abbr,absorber2,/input,absorber2,txt breite1=0.08e-3 !Breite eines Absorbers tiefe=0.45e-3 !Waferdicke fuge=0.02e-3 !Breite der Fuge top_elek_h=0.43e-6 !Höhe der Topelektrode bot_elek_h=0.35e-6 !Höhe der Bottomelektrode pot=500 !angelegtes Potenzial /prep7 et,1,plane121 !2D 8-node electrostatic solid mp,perx,1,12.9 !Permittivität für GaAs !mp,perx,1,11.7 !Permittivität für Si !----Geometrie----- rectng,0,breite1/2+fuge/2,0,tiefe !rectng,x1,x2,y1,y2 rectng,breite1/2-fuge/2,breite1/2,0,tiefe rectng,0,breite1/2+fuge/2,0,tiefe-fuge/2 rectng,0,breite1/2,tiefe,tiefe+top_elek_h !Topelektrode rectng,0,breite1/2+fuge/2,0,-bot_elek_h !Bottomelektrode cyl4,breite1/2,tiefe+top_elek_h/2,top_elek_h/2 !Abrundeung der Topelektrode !aovlap,4,6 !aadd,4,6 !aovlap,all /pnum,area,1 /eof !/pnum,kp,1 !/pnum,line,1 !/pnum,area,1 !/eof !----Vernetzung----- ksel,s,loc,y,tiefe !wählt alle Keypoints bei y=tiefe aus ksel,r,loc,x,breite1/2 !wählt daraus die Keypoints mit x=breite1/2 kesize,all,fuge/64 !definiert Kantenlänge der Elemente neben Keypoints esize,fuge/12 kesize,all,,0.5 !Scale-Faktor=0.5 amesh,7 !Vernetzen der beiden Flächen im Bereich der scharfen Kante amesh,10 !Vernetzen der beiden Flächen im Bereich der scharfen Kante aadd,11,8,6,9 !Addieren von Flächen, um eine Fläche zu erhalten esize,fuge/4 amesh,all !/eof !----Elektroden--------------- !ohmscher Kontakt: Bottomelektrode nsel,s,loc,y,0 !wählt alle Knoten bei y=0 aus d,all,volt,0 !setzt diese Knoten auf "0 V" !Schottkykontakte: Topelektroden lsel,s,,,34 !wählt Line34 aus lsel,a,,,7 !wählt zusätzlich Line7 aus nsll,s,1 !wählt alle zu Line34+7 gehörigen Knoten aus d,all,volt,pot !setzt diese Knoten auf "pot V" allsel !alle Selektierungen rückgängig !--------Lösung------ /solu solve !------Auswertung------ /post1 !/cont,,9,pot*0.95,,pot!*0.99 !plns,volt plns,ef,sum !elektrische Feldstärke !plns,d,sum !elektrische Verschiebungsflussdichte