finish /clear *abbr,elektrostatik_3D,/input,elektrostatik_3D,txt breiteg=5e-4 !Breite Gesamt breite1=8e-5 !Breite eines Absorbers laenge=1e-3 !Länge tiefe=4.5e-4 !Waferdicke fuge=1e-4-breite1 pot=500 !angelegtes Potenzial /prep7 et,1,solid122 !3D 20-node electrostatic solid et,2,mesh200,7 !Vernetzungshife mp,perx,1,12.9 !Permittivität für GaAs !mp,perx,1,11.7 !Permittivität für Si !----Geometrie----- rectng,0,breiteg,0,laenge !gesamte Fläche rectng,0,0.5*fuge,0,laenge !1. Fuge rectng,0.5*fuge+breite1,1.5*fuge+breite1,0,laenge !2. Fuge rectng,1.5*fuge+2*breite1,2.5*fuge+2*breite1,0,laenge !3. Fuge rectng,2.5*fuge+3*breite1,3.5*fuge+3*breite1,0,laenge !4. Fuge rectng,3.5*fuge+4*breite1,4.5*fuge+4*breite1,0,laenge !5. Fuge rectng,4.5*fuge+5*breite1,5*fuge+5*breite1,0,laenge !6. Fuge aovlap,all !/pnum,area,1 !A9,A3,A4,A5,A6,A8:Fugen !----Vernetzung der Flächen----- type,2 esize,fuge/5 amesh,9 !Vernetzen der linken halben Fuge amesh,3,6,1 !Vernetzen der mitteleren vier Fugen amesh,8 !Vernetzen der rechten halben Fuge esize,fuge/4 amesh,10,14,1 !Vernetzen der Elektroden !----Flächen extrudieren------- type,1 !Zuweisung Elementtyp 1 mat,1 !Zuweisung Material 1 esize,,4 vext,all,,,,,-tiefe aclear,all !----Elektroden--------------- !ohmscher Kontakt: Bottomelektrode nsel,s,loc,z,-tiefe d,all,volt,0 !Schottkykontakte: Topelektroden asel,s,,,10 nsla,s,1 d,all,volt,pot asel,s,,,11 nsla,s,1 d,all,volt,pot asel,s,,,12 nsla,s,1 d,all,volt,pot asel,s,,,13 nsla,s,1 d,all,volt,pot asel,s,,,14 nsla,s,1 d,all,volt,pot allsel !--------Lösung------ /solu solve !------Auswertung------ /post1 !/view,,-0.5,-0.7,0.4 !plns,volt !/wait,1 plns,ef,sum !/wait,2 !/ctype,1 !plns,volt