!cyl4 statt pcirc finish /clear !----Konstanten----- tiefe=0.45e-3*1e3 !Waferdicke breite=0.08e-3*1e3 !Breite eines Absorbers fuge=0.02e-3*1e3 !Breite der Fuge gap=0.005e-3*1e3 !Lücke zwischen Elektrode & Fuge top_elek_h=0.43e-6*1e3 !Höhe der Topelektrode bot_elek_h=0.35e-6*1e3 !Höhe der Bottomelektrode dick_elek=2e-6*1e3 !Dicke Elektrode eind_elek=0.2e-6*1e3 !Eindringtiefe der Elektrode pot=500 !angelegtes Potenzial /prep7 et,1,plane121 !2D 8-node electrostatic solid mp,perx,1,12.9 !Permittivität für GaAs mp,perx,2,11.7 !Permittivität für Si mp,perx,3,1 !Permittivität für Luft !----Geometrie----- !rectng,x1,x2,y1,y2 rectng,0,breite/2-gap+fuge/2-gap+2*gap,0,tiefe !gesamt rectng,breite/2-fuge/2-gap,breite/2-gap,0,tiefe !vertikales Rechteck: links von gap mit Breite von fuge/2 rectng,breite/2-fuge/2+gap,breite/2,0,tiefe !vertikales Rechteck: rechts von gap mit Breite von fuge/2 rectng,0,breite/2+fuge/2,0,tiefe-fuge/2 !horizontales Rechteck: unterhalb des oberen GaAs-Endes mit Höhe von fuge/2 rectng,0,breite/2+fuge/2,tiefe-eind_elek,tiefe+dick_elek-eind_elek !horizontales Rechteck: oberhalb des oberen GaAs-Endes um eind_elek nach unten versetzt mit Höhe von dick_elek rectng,0,breite/2-gap,tiefe-eind_elek,tiefe+dick_elek-eind_elek !horizontales Rechteck: oberhalb des oberen GaAs-Endes um eind_elek nach unten versetzt mit Höhe von dick_elek (linke Elektrode) rectng,0,breite/2,tiefe-eind_elek,tiefe+dick_elek-eind_elek !horizontales Rechteck: oberhalb des oberen GaAs-Endes um eind_elek nach unten versetzt mit Höhe von dick_elek (fuge) !/eof !local,11,0,breite/2-gap,tiefe-eind_elek+dick_elek !Def. eines neuen Koord.-sys.: local,number,karthesisch,x,y !wpcsys,,11 !Aktivierung Koord.-sys. #11 !pcirc,,dick_elek,-90,0 !Def. eines Kreises um Koord.-ursprung: innerer_Radius,äußerer_Radius,Theta1,Theta2 !local,12,0,breite/2,tiefe-eind_elek+dick_elek !Def. eines neuen Koord.-sys.: local,number,karthesisch,x,y !wpcsys,,12 !Aktivierung Koord.-sys. #12 !pcirc,,dick_elek,-180,-90 !Def. eines Kreises um Koord.-ursprung: innerer_Radius,äußerer_Radius,Theta1,Theta2 !wpcsys,,0 !Aktivierung Koord.-sys. #0 (Standard) !csys,0 !Verwendung karth. Koord.-sys. cyl4,breite/2-gap,tiefe-eind_elek+dick_elek,dick_elek,-90,,0 cyl4,breite/2,tiefe-eind_elek+dick_elek,dick_elek,-180,,-90 btol,0.1e-12 !Toleranz aovlap,all !Flächen überlappen !/pnum,area,1 !Flächen nummerieren !/eof !Elektrodenflächen: !Elektrode: A11,13,18,20,28 !Fuge: A10,16,17,21 adele,10 !Fläche löschen: 10 adele,11,13,2 !Flächen löschen: 11-13 mit INC=2 adele,16,17 !Flächen löschen: 16-17 adele,18,20,2 adele,21 adele,28 !/pnum,area,1 !/eof aadd,24,25 !Fläche A1 entsteht wpcsys,,0 wpoffs,3.75e-2 wprota,,,90 asbw,all !Luftfläche: A13 !Fugenflächen: A15,22 !Gapflächen: A19,27 !Absorberflächen: A12,14,23,26 !/pnum,area,1 !/eof !----Vernetzung----- !/pnum,line,1 !Linien nummerieren !/eof !lesize,73,,,3 !obere horizontale Linie der Luft !lesize,75,,,10 !untere horizontale Linie der Luft !Linien der Elektrode: L61,45,40,66 ! lesize,40,,,10 lesize,66,,,10 lesize,45,,,10,10 !Linien der Elektrode: L55,37,68 ! lesize,37,,,10 lesize,68,,,10 lesize,55,,,10,1/10 !---Luft--- mat,3 esize,4e-4 aclear,all smrt,off ! lesize,10,,,30,1/10 amesh,7 amesh,6 asel,s,loc,y,0.44,1 asel,u,,,6,7 mat,1 esize,3e-3 amesh,all asel,invert amesh,all alls eplot ! /eof ! ! !---GaAs--- ! mat,1 ! esize,0.5e-3 ! amesh,22,26 ! amesh,27 ! esize,2e-3 ! amesh,12,14,2 !vernetzt A12,14 ! amesh,15,23,4 !vernetzt A15,19,23 ! /eof ! ! !----Elektroden--------------- ! !ohmscher Kontakt: Bottomelektrode ! nsel,s,loc,y,0 !wählt alle Knoten bei y=0 aus ! d,all,volt,0 !setzt diese Knoten auf "0 V" ! !Schottkykontakte: Topelektroden ! lsel,s,,,40 !wählt Line 40 aus ! lsel,a,,,45 !wählt zusätzlich Linie 45 aus ! lsel,a,,,61,66,5 !wählt zusätzlich Linen 61 und 66 aus ! nsll,s,1 !wählt alle zu Linen 40,45,61,66 gehörigen Knoten aus ! d,all,volt,pot !setzt diese Knoten auf "pot V" ! ! allsel !alle Selektierungen rückgängig ! !--------Lösung------ ! /solu ! solve ! ! !------Auswertung------ ! /post1 ! !/cont,,9,pot*0.95,,pot!*0.99 ! !plns,volt ! plns,ef,sum !elektrische Feldstärke ! !plns,d,sum !elektrische Verschiebungsflussdichte ! ! ! ! !----------------------------------- ! !----------------------------------- ! !----------------------------------- ! !----------------------------------- ! ! ! ! mshape,0,2d ! 0=quads 1=tria ! mshkey,1 ! 0 use free meshing, 1 use mapped meshing ! ESIZE,ms_tobj ! skind/2 ! SMRTSIZE,4 ! 1