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Autor Thema:  Lithographiemaske (883 mal gelesen)
pihalbe
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Beiträge: 3
Registriert: 11.02.2011

Auto Cad 2007

erstellt am: 11. Feb. 2011 15:51    Editieren oder löschen Sie diesen Beitrag!  <-- editieren / zitieren -->   Antwort mit Zitat in Fett Antwort mit kursivem Zitat    Unities abgeben: 1 Unity (wenig hilfreich, aber dennoch)2 Unities3 Unities4 Unities5 Unities6 Unities7 Unities8 Unities9 Unities10 Unities


maske.JPG

 
Hallo,

ich bin neu im Forum.
Ich möchte mittels AutoCAD2007(Mechanical Desktop) eine Lithographiemaske für meinen 4´´ Wafer erstellen.
Ich habe noch nie mit AutoCAD gearbeitet, kenne jedoch CAD-Grundzüge aus COMSOL...
Ich wäre für erste Tipps zur Bearbeitung der genannten Problematik sehr dankbar (aehnliche Forenbeitraege etc...)
Ich habe bereits ein erstes Layout (3´´) erstellt, dass die Strukturen, die m.h. der Lithografie auf dem Wafer abgebildet werden sollen, zeigt. Ich habe Probleme mit der Skalierung. Ich möchte Rechtecke mit verschiedenen Breiten (50µm-1µm) und einen Abstand zwischen derer Mittelpunkte von 125µm zeichen. Der Befehlt EINHEIT liefert schon mal die Einstellung der Größenordung...

Bin dankbar für erste Tipps
VG
pihalbe

------------------
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