Ein Wort noch zur Funktionsweise:
Schieberventile können meist Vakuum problemlos schalten, wogegen Sitzventile dies nur können wenn sie definitiv dazu konstruiert wurden (und auch da nur in die "richtige" Richtung).
Besonders aufpassen muss man bei vorgesteuerten Ventilen aus der Pneumatik, die gibts mit interner Vorsteuerung (fehlt bei Vakuumbetrieb) oder mit externer Vorsteuerung (muss man extra anschliessen).
Am Besten bei einem der bekannten Hersteller im Katalogabschnitt für Vakuum rumstöbern.
Ein grundsätzliches Problem bei Vakuum, z.B. Handling von Bauteilen, das leicht übersehen wird, ist die Belüftung. Die passiert nicht in der Zeit null, sondern dauert ein wenig. Kann man abkürzen durch gezielte Druckbeaufschlagung.
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mfg - Leo
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