Hallo,
ich bin neu im Forum.
Ich möchte mittels AutoCAD2007(Mechanical Desktop) eine Lithographiemaske für meinen 4´´ Wafer erstellen.
Ich habe noch nie mit AutoCAD gearbeitet, kenne jedoch CAD-Grundzüge aus COMSOL...
Ich wäre für erste Tipps zur Bearbeitung der genannten Problematik sehr dankbar (aehnliche Forenbeitraege etc...)
Ich habe bereits ein erstes Layout (3´´) erstellt, dass die Strukturen, die m.h. der Lithografie auf dem Wafer abgebildet werden sollen, zeigt. Ich habe Probleme mit der Skalierung. Ich möchte Rechtecke mit verschiedenen Breiten (50µm-1µm) und einen Abstand zwischen derer Mittelpunkte von 125µm zeichen. Der Befehlt EINHEIT liefert schon mal die Einstellung der Größenordung...
Bin dankbar für erste Tipps
VG
pihalbe
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