Genau, da ist meine auch her! Ich hab aber den Link nicht mehr gefunden. Die vorn, die goldige, die ist die Wellrohr.
Auch den Schlauch müssen Sie irgendwie festmachen.
Diese Kupplungstechnik mit einem kleinen Plastikschlauch hab ich zum ersten Mal in den sog. Rudolph-Ellipsometern gesehen, das sind Geräte, die einn polarisierten Lichstrahl auf eine Lichtdurchlässige Schicht (z. B. Siliziumoxid auf Silizium, auch Slliziumnitrid oder Polysilizium) unter einem flachen Winkl (70 Grad zur Senkrechten) senden, dieser wird zweimal reflektiert, einmal an der oberen Fläche, ein Teil des Strahls dringt ein und wird am Substrat (also Silizium oder auch Gallium Arsenid) reflektiert, dabei ändert er seine Polarisationsrichtung, so daß man danach zwei verschieden polarisierte Strahlen hat. Der Empfänger dreht sich nun seinen Polfilter einmal rum und sucht sich sich die Minima und Maxima. Das macht er von verschiedenen Seiten, dreht auch den Polarisator mal nach.
Die Geräte waren wirklich wüst gebaut, die Polfilter wurden mit kleinen Schneckchen gedreht und die wiederum mit solchen Schläuchen angetrieben.
Eins mußte man den Geräten aber alssen, solange innendrin nicht alle Teil herumlagen, solange funktionierten die Geräte.
Messen konnte man damit die Schichtdicke auf 0.1nm genau, also auf Atomlagen und auch den Brechungsindex, war der z. B. 1.45, dann war's Siliziumoxid, 2 bei Siliziumnitrid, ca. 1.6 bis 1.7 bei den Fotolacken und über 2 beim Siliziumnitrid und man konnte auch mehr als eine Schicht damit messen (max. 2).
Es gab aber noch mehr solche Geräte, eins war das Nanospec, ein Spektralinterferometer, innendrin Mädler pur, zusammengehalten von einer einzigen M3-Schraube.
Man sollte also über solche semiprofessionell wirkenden Ideen wie der Schlauchkupplung nicht lachen, die können sehr gut sein.
Einfach mal so erzählt.
[Diese Nachricht wurde von murphy2 am 15. Sep. 2006 editiert.]
[Diese Nachricht wurde von murphy2 am 15. Sep. 2006 editiert.]
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